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      高溫無氧烤箱在低介電常數(shù)BCB樹脂的固化工藝中的操作方法
      

      更新時間：2023-04-28    點擊次數(shù)：1060次
      

      　　低介電常數(shù)BCB樹脂的固化方法，具體步驟如下：
       
      　　1:在半導體芯片表面涂覆一層粘附劑;
       
      　　2:通過旋轉方式在半導體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)BCB樹脂，接著將涂覆好BCB樹脂的半導體芯片放入高溫無氧烤箱中，并通入氮氣保護;
       
      　　3:加熱高溫無氧烤箱，使涂覆BCB樹脂的半導體芯片達到一第一溫度，穩(wěn)定一段時間，使BCB樹脂中的溶劑分布均勻;
       
      　　4:再將加熱無氧烤箱升高到一第二溫度，穩(wěn)定一段時間，使BCB樹脂中的溶劑充分揮發(fā);
       
      　　5:再將加熱高溫無氧烤箱升高至一第三溫度，穩(wěn)定一段時間，在半導體芯片表面形成低介電常數(shù)的樹脂薄膜;
       
      　　6:高溫無氧烤箱降溫至100度以下；
       
      　　7:關氮氣，取出產，完成固化工藝。

      

 
      
		  
      

      
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